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蒸鍍的物理過程包括:沉積材料蒸發或升華為氣態粒子→氣態粒子快速從蒸發源向基片表面輸送→氣態粒子附著在基片表面形核、長大成固體薄膜→薄膜原子重構或產生化學鍵合?! ⒒湃胝婵帐覂?,以電阻、電子束、激光等方法加熱膜料,使膜料蒸發或升華,
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